使用方法
該設(shè)備操作簡(jiǎn)單,易于上手,具體操作如下:
一、曝光前準(zhǔn)備工作
1、硅片處理:確保待曝光硅片經(jīng)過(guò)勻膠處理,福建SU8模具加工設(shè)備,表面干凈平整,沒(méi)有明顯的污漬或破損。
2、選擇光刻板:根據(jù)項(xiàng)目需要,選擇合適尺寸的光刻板,本設(shè)備兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、設(shè)備檢查:仔細(xì)檢查設(shè)備,確保所有部件處于正常工作狀態(tài),確保操作環(huán)境良好。
二、曝光操作步驟
1、安裝硅片:將待曝光硅片平放在設(shè)備的載臺(tái)上,確保位置準(zhǔn)確。
2、放置光刻板:將光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平穩(wěn)。
3、設(shè)定曝光參數(shù):使用控制面板設(shè)置曝光時(shí)間和強(qiáng)度,根據(jù)具體需求進(jìn)行調(diào)整。
2、平臺(tái)組成2.1 電子秤
量程:0.01~1000g精度0.01g方形托盤大?。?6x18cm2.2 脫泡器
材質(zhì):PC材料隔板直徑:230mmyouzhi硅膠O型密封圈可維持高真空
2.3 PDMS澆筑器
材質(zhì):鋁合金真空吸附硅片規(guī)格:適合4寸及4寸以下SU8模具或純硅模具澆筑
2.4 烘箱
溫度范圍:10℃~300℃溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng):±0.2℃內(nèi)膽材料:不銹鋼內(nèi)部尺寸:35x35x35cm(長(zhǎng)x深x高)外部尺寸:46x56x64cm(長(zhǎng)x深x高)電源:220V功率:0.8KW2.5 PDMS芯片打孔器介紹PDMS芯片打孔器,SU8模具加工設(shè)備作用,借鑒了臺(tái)鉆的機(jī)械原理,并對(duì)he心結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化,使得該打孔設(shè)備在操作過(guò)程中表現(xiàn)更為穩(wěn)定。它適用于制備各種軟質(zhì)微流控芯片(如PDMS芯片、硅膠芯片等)的進(jìn)樣孔??赏ㄟ^(guò)限位螺栓調(diào)整所需孔深度(范圍為0-20.0毫米),可更換不同內(nèi)徑針管(范圍直徑0.41-9.0毫米)控制進(jìn)樣孔尺寸。
1、啟動(dòng)曝光:確認(rèn)參數(shù)設(shè)定無(wú)誤后,點(diǎn)擊啟動(dòng)按鈕,設(shè)備將開始進(jìn)行曝光。
2、監(jiān)控曝光過(guò)程:在曝光過(guò)程中,您可以通過(guò)設(shè)備界面監(jiān)控曝光進(jìn)度,確保一切順利進(jìn)行。
3、曝光完成:曝光結(jié)束后,設(shè)備會(huì)發(fā)出提示,取出硅片和光刻板。
頂旭微控
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