方案特點(diǎn):A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān); B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。光學(xué)微電子凈化工程一般包括:1、 潔凈生產(chǎn)區(qū);2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
和其他產(chǎn)業(yè)不同,集成電路產(chǎn)業(yè)鏈幾乎所有環(huán)節(jié)都需要在潔凈室內(nèi)完成,從單晶硅片制造,到IC制造的幾乎所有環(huán)節(jié),到IC封裝都需要在潔凈室中完成,且對于潔凈度的要求非常高。如,14納米工藝中7納米的微粒就會影響制造過程。集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高,凈化車間維護(hù),對于潔凈室工程的技術(shù)提出越來越高的要求。潔凈室工程是集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán),直接決定了終產(chǎn)品的成敗。
潔凈房裝修:天花板:潔凈區(qū)及生產(chǎn)區(qū)域用雙層保溫(PU)彩鋼板,無塵明亮,色灰白,厚50mm。符合電子廠房潔凈防靜電要求。間隔:潔凈區(qū)及生?區(qū)用雙面彩鋼保溫(PU)板圍護(hù)及間隔。潔凈車間內(nèi)間隔與地面及無花交角做圓弧及陰角接口,多晶硅凈化車間維護(hù),防積塵及易於衛(wèi)生清潔。密閉門:單扇門:900*2000,上做玻璃觀察窗(同間隔墻平窗尺寸),裝通道鎖,門及門框采用不湫鋼制作。地面:防靜電規(guī)范 A.潔凈區(qū)水泥地面經(jīng)處理后做3mm防靜電環(huán)氧地坪。符合歐洲EN548標(biāo)準(zhǔn)和要求。防火性能符合:DIN4102-1,B1級:抗燃燒性符合ISO06923:難燃:抗靜電性<+/-100V 抗化學(xué)性能符合EM423:耐稀酸、油脂、及乙醇、石漬溶劑等。具有不吸塵、不吸灰的特性。柱子:潔凈區(qū)柱子用彩鋼板全包邊,光電顯示凈化車間維護(hù),并作回風(fēng)技術(shù)夾層。風(fēng)淋室:按規(guī)范要求,潔凈房的風(fēng)淋室設(shè)計雙人,2個:
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