其中主要應用于半導體集成電路的消費制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。在集成電路制造應用方面詳細包括集成電路芯片制程、化學氣相堆積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用。
在太陽能電池應用方面詳細包括太陽能電池的應用、晶體硅太陽能電池消費工藝和氣體應用、薄膜太陽能電池消費工藝和氣體應用;在化合物半導體應用方面詳細包括化合物半導體的應用、MOCVD/LED消費工藝和氣體應用。
(Ne)
常溫常壓下為無色無臭無毒的惰性氣體。 用途:用于霓虹燈、水i銀燈、絕緣檢測器、高頻率驗電器、等離子體研究、激光器等,用作低溫冷卻劑,標準氣、特種混合氣等。Ne在放電時發(fā)出橘紅色輝光,用于制造霓虹燈,氦氣多少錢,絕緣檢測器,高頻率驗電器、等離子體研究,激光器,標準氣,特種混合氣等,還大量用于高能物理研究,氦氣怎么樣,讓Ne充滿火花室來探測和微粒的行徑;和Ar混合使用會有美麗的藍光產(chǎn)生,昆山氦氣,也可用來填充水i銀燈和鈉蒸氣燈。
標準氣體潛在的危險分析
1、標識不清或沒有警示標識
1)標準氣體的氣瓶應該和純氣一樣貼警示標簽。關(guān)于標準氣體可燃性或氧化性的計算目前國內(nèi)尚無標準遵循。ISO 10156為如何計算標準氣體的可燃性和氧化性提供了可以遵循的方法。
2)標準氣體應和純氣一樣有成分和濃度標簽。
3)不應留有和氣體或濃度不符的標簽,殘留的上次充裝的標簽要清理干凈。
2、標準氣體的閥門出口螺紋應遵循的規(guī)則
標準氣體的閥門出口螺紋應遵循:可燃標準氣體-左旋,不燃標準氣體-右旋;目前市場上大多數(shù)生產(chǎn)廠提供的標準氣體閥門出口螺紋沒有什么區(qū)別,氦氣哪里好,全部采用右旋;標準氣體應和純氣一樣,可燃標準氣體使用出口螺紋右旋的閥門,防止在生產(chǎn)過程中和客戶使用時錯接;
3、氣體接近爆i炸限或充裝過程中經(jīng)過爆i炸區(qū)間,沒有濃度和壓力限制作為標準氣體生產(chǎn)廠家,不僅僅提供給客戶的產(chǎn)品濃度在可燃(爆i炸)下限以下,而且在充裝過程中也要確保操作人員的安全,對于在充裝過程中經(jīng)過爆i炸區(qū)間的標準氣體,應經(jīng)過嚴格計算控制充裝壓力和進樣順序,制定嚴格的操作程序,操作者應該接受培訓,培訓合格后才可充裝此類氣體。
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