流量控制器的穩(wěn)定控制時間
由于到達設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時到達了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。
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流量控制器基本原理
通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應(yīng)來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加,冷卻效應(yīng)越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。
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流量控制器
怎樣進行不同氣體的質(zhì)量流量換算?
產(chǎn)品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體,當(dāng)流量檢測值相同時,實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體(氮氣)的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。
如果您使用的產(chǎn)品是標準出廠產(chǎn)品(按氮氣標定顯示),而需要知道實際使用氣體的質(zhì)量流量時,先在產(chǎn)品說明書中找到實際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測量過程中,以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質(zhì)量流量;反之,電磁流量計廠家,在確定所購產(chǎn)品的量程時,以實際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù),電磁流量計多少錢,即是相應(yīng)的氮氣標定產(chǎn)品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體,電磁流量計哪里有,其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮氣標定顯示的產(chǎn)品,不必換算。
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