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電子束平版印刷術(shù)是一種分辨率小于一毫米的蝕刻半導(dǎo)體的方法。這種技術(shù)的缺點是成本高昂、程序緩慢、必須操作于真空內(nèi)、還有,電子束在固體內(nèi)很快就會散開,很難維持聚焦。后這缺點限制住分辨率不能小于10nm。因此,UG數(shù)控編程設(shè)計,電子束平版印刷術(shù)主要是用來制備少數(shù)量特別的集成電路。
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電子顯微鏡主要分為兩種類式:穿透式和掃描式。穿透式電子顯微鏡的操作原理類似高架式投影機,將電子束對準于樣品切片發(fā)射,廈門數(shù)控編程設(shè)計,穿透過的電子再用透鏡投影于底片或電荷耦合元件。掃描電子顯微鏡用聚焦的電子束掃描過樣品
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1897年,英國劍橋大學(xué)卡文迪許實驗室的約瑟夫·約翰·湯姆森重做了赫茲的實驗。使用真空度更高的真空管和更強的電場,他觀察出負極射線的偏轉(zhuǎn),并計算出負級射線粒子(電子)的質(zhì)量-電荷比例,因此獲得了1906年的諾貝爾物理學(xué)獎。
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