Parylene是20世紀(jì)60年代中期美國聯(lián)合碳化物公司開發(fā)的一種分子級敷型涂層材料,是的聚對二(poly-P-xylylene)聚合物系列的通用名稱,根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同,可分為Parylene N、C、D、HT、F型等多種類型。
Parylene N是一種很好的介電材料,具有非常低的介質(zhì)損耗、高絕緣強(qiáng)度以及不隨頻率變化的介電常數(shù)。它是所有Parylene中穿透能力高的一種,有很好的自潤滑性,派瑞林價格,摩擦系數(shù)為0.25。符合ISO-10993生物試驗要求,符合UDP第六類塑料的生物試驗要求。
真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要,派瑞林涂層,直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進(jìn)入鍍膜室前一定要做到認(rèn)真的鍍前清潔處理,派瑞林,表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物,為了避免加工過程中造成的不良,真空鍍加工廠家基本上可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。
對經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在大氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛 氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。因為這些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。真空鍍膜加工對?高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。
MEMS集成裝置尤其是在生物傳感器方面,已經(jīng)成為心率、血壓等涉及到身體健康生物信號監(jiān)測的重要器件,真空鍍派瑞林,在嚴(yán)苛的環(huán)境中膜層防護(hù)性要求能具有較好的穩(wěn)定性是關(guān)鍵。涂覆了派瑞林的工業(yè)級傳感器,為手術(shù)機(jī)器人功能提升與柔性電子發(fā)展提供重要的技術(shù)支撐。
除了健康領(lǐng)域,MEMS柔性傳感系統(tǒng)可應(yīng)用的領(lǐng)域還包括運(yùn)動行業(yè)、可穿戴機(jī)械設(shè)備、人造皮膚等等。如將柔性壓力傳感器內(nèi)置在鞋子中,可以實時檢測體重、發(fā)力姿勢、身體平衡性等;可穿戴設(shè)備中的柔性傳感器可以感知人的動作和用力情況,協(xié)助佩戴者提起重物、快速走動等;集成了柔性觸力傳感器的人造皮膚,可以用于義肢上,感知佩戴者的動作意圖并協(xié)助其完成想要的動作。作為納米涂層材料之一,派瑞林鍍膜技術(shù)更好的提升了MEMS產(chǎn)品的表面防護(hù)性能。
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