廣東潽拓光電-廣州市阿爾卡特渦輪分子真空泵

廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 真空泵養(yǎng)護(hù)維修

單級(jí)旋片式真空泵的真空度只能到達(dá)1*10-2托，不能到達(dá)再高的原因是：

1、泵的布局上存在“有害空間”，空間中的氣體是無(wú)法排除的。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過(guò)排氣口后，這一有些氣體又被緊縮，阿爾卡特渦輪分子真空泵保養(yǎng)維修，經(jīng)過(guò)轉(zhuǎn)子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，廣州市阿爾卡特渦輪分子真空泵，所以，“有害空間”越小，泵極限真空度越高。

2、泵腔被旋片分隔變成兩有些:排氣空間與吸氣空問(wèn)，兩者間存在著必定的壓強(qiáng)差。當(dāng)排氣空間的氣體被緊縮得很小時(shí)，壓弧很高，會(huì)經(jīng)過(guò)各種可能的路徑打破到吸氣空間去，使真空度下降。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

3、泵油在泵體內(nèi)循環(huán)活動(dòng)進(jìn)程中會(huì)溶解進(jìn)很多氣體和蒸氣。在吸氣空間，因?yàn)閴簭?qiáng)較低，溶解的氣體又會(huì)跑出來(lái)，使泵的真空度不易進(jìn)步。

為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度，盡量削減安裝空隙和有害空間以外，真空可以認(rèn)為zui有用的辦法是將兩只單級(jí)泵串接起來(lái)，組合成雙級(jí)泵。這樣，極限真空度將提高，可達(dá)10-4托(進(jìn)口真空泵可到達(dá)10-5托)。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

渦輪分子泵主要由一個(gè)外殼與轉(zhuǎn)子和定子組成。旋轉(zhuǎn)圓盤(pán)和固定圓盤(pán)交叉排列，一個(gè)轉(zhuǎn)子盤(pán)和一個(gè)定子盤(pán)組成一個(gè)泵級(jí)。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)得越快，抽吸效果就越顯著。現(xiàn)代泵的轉(zhuǎn)速已高達(dá)90 000 min-1，圓周速度為 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制樣機(jī)轉(zhuǎn)速就能達(dá)到142 m/s。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

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旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，阿爾卡特渦輪分子真空泵維修保養(yǎng)，正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹)，氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。

當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開(kāi)始被壓縮，容積逐漸縮小，*后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開(kāi)，氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)(低真空級(jí))，由低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來(lái)負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。真空泵維修維護(hù)

真空機(jī)組工作原理：

真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級(jí)泵，因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。真空泵維修維護(hù)

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵ALCATEL 5011分子泵維修

一臺(tái)高真空泵和一臺(tái)低真空泵難于組成有效的高真空機(jī)組，這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級(jí)耐壓的限制，即前級(jí)高于某一壓力，泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修 ，而當(dāng)前級(jí)泵達(dá)到這一臨界壓力時(shí)，往往抽速會(huì)減小，這樣前級(jí)泵的排氣流量可能會(huì)小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會(huì)引起真空機(jī)組不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修

轉(zhuǎn)子的油膜冷卻:這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個(gè)輸油管，阿爾卡特渦輪分子真空泵維修，用均勻滴下的冷卻油帶走轉(zhuǎn)子的熱量。油經(jīng)過(guò)濾器器、冷卻器，通過(guò)密封良好的油泵，再經(jīng)過(guò)辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉(zhuǎn)子上之后，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而均面在轉(zhuǎn)了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵維修

這不僅將轉(zhuǎn)子的熱量帶走，同時(shí)在兩個(gè)轉(zhuǎn)子表面上形成油膜，防止氣體的逆流，而且還能將轉(zhuǎn)子表面上依附的微細(xì)塵埃帶走。在泵的出口處設(shè)有油槽，收集廢油，經(jīng)過(guò)過(guò)濾，冷卻后重新循環(huán)使用。此種方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵維修 ，但由于泵內(nèi)有油，失去了羅茨泵無(wú)油蒸汽污染真空系統(tǒng)的特點(diǎn)。再則油具有一定的粘度，對(duì)高速旋轉(zhuǎn)的羅茨泵轉(zhuǎn)子增加了不少的摩擦力，當(dāng)然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵維修

所使用的油，要求飽和蒸汽壓應(yīng)盡量代。

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