真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。例如,水表模級(jí)防水鍍膜原理,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。Parylene HT(SCS)該材料具有更低的介電常數(shù)(即透波性能好)、好的穩(wěn)固性和防水、防霉、防鹽霧性能.短期耐溫可達(dá)450攝氏度,長(zhǎng)期耐溫可達(dá)350攝氏度,并具有強(qiáng)的抗紫外線能力.更適合作為高頻微波器件的防護(hù)材料。
Parylene真空鍍膜以其良好的耐腐蝕、耐,、 低阻滯性、低摩擦系數(shù)及生物相容性,在國(guó)際臨床運(yùn)用的生物的表面涂層上,水表防水鍍膜廠,將逐步取代TiNi(鎳鈦)合金涂層而被列為*材料。如骨釘、探針、針頭、臨時(shí)手術(shù)器械、導(dǎo)尿管、制動(dòng)器及耳蝸植入器,心臟起搏器、腦電極、植入式傳感器、射頻、血液分析傳感器和高頻手術(shù)刀等微型電子。
真空蒸鍍基本原理:在真空條件下,使金屬、金屬合金等蒸發(fā),然后沉積在基體表面上,蒸發(fā)的方法常用電阻加熱,電子?xùn)|轟擊鍍料,使蒸發(fā)成氣相,然后沉積在基體表面,歷,水表模級(jí)防水鍍膜市場(chǎng),真空蒸鍍是PVD法中使用早的技術(shù)。
濺射鍍膜基本原理:充(Ar)氣的真空條件下,使氣進(jìn)行輝光放電,這時(shí)(Ar)原子電離成氮離子(Ar),離子在電場(chǎng)力的作用下,加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材,靶材會(huì)被濺射出來(lái)而沉積到工件表面。濺射鍍膜中的入射離子,一般采用輝光放電獲得,在10-2pa~10Pa范圍,汕尾水表防水鍍膜,所以濺射出來(lái)的粒子在飛向基體過(guò)程中,易和真空室中的氣體分子發(fā)生碰撞,使運(yùn)動(dòng)方向隨機(jī),沉積的膜易于均勻。
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