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陜西屹達(dá)空壓機有限公司
主營：螺桿空壓機,全無油空壓機,中高壓空壓機,后處理,儲氣罐
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分子泵：分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
冷凝水的影響: 冷凝水在多級真空泵中具有無足輕重的位置, 為了包管冷凝水可以將蒸汽充沛冷凝, 真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓有必要高于其所對應(yīng)的飽滿蒸汽壓, 所以冷凝水的溫度也要低于該壓力下的飽滿溫度, 才干包管泵體的正常作業(yè)。別的, 冷凝器的冷凝功率也是十分要害的, 冷凝器的冷凝作用差, 會使蒸汽因來不及冷凝而直接進入下一級泵, 加大后級泵的負(fù)荷, 影響泵的抽氣才能。為此,冷凝水的進口溫度, 流量及冷凝器的運用情況對泵的功能均有很大的影響。
泵的傳動方式真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動方式的大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的偏向電動機和齒輪箱一側(cè)。
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