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主營：氦檢漏系統(tǒng),非標定制氦檢漏回收系統(tǒng)
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氦質譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和定位容器或管道內部缺陷的儀器。它通過測量氣體的氦濃度來判斷是否存在缺陷，具有靈敏度高、檢測范圍廣、操作簡單等優(yōu)點。該系統(tǒng)包括氦氣發(fā)生器、質譜檢測器、數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)等組成。其工作原理是，通過向容器或管道內注入氦氣，然后用質譜檢測器測量氦氣的濃度變化，從而發(fā)現(xiàn)缺陷。該系統(tǒng)可用于石油、化工、制藥、食品等行業(yè)，廣泛應用于氣體檢測、漏點定位等領域。
氦質譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機、進氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，充氦回收系統(tǒng)，從而產(chǎn)生聲學信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進行準確的測定，因此廣泛應用于半導體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個密封件是否有缺陷。
氦檢漏系統(tǒng)主要用于檢測真空設備或容器中的微量泄漏，以保證其密封性能。其中一種常用的方法是使用超聲波法進行測量的原理。具體來說：當聲源（通常為20kHz）發(fā)出的超聲信號進入被測試的物品后發(fā)生反射和折射現(xiàn)象返回給；如果存在微小泄露物時就會在物體表面形成駐留壓力場，產(chǎn)生一個與該物體的溫度、濕度以及大氣壓緊密相關的聲音振蕩頻率即回音或者說是雜散噪聲；通過測量這種由可聽聲組成的復合噪音的大小即可得知相應的漏洞大小。
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