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東莞菱威納米科技有限公司
主營：Parylene派瑞林,真空鍍膜,表面處理
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MEMS集成裝置尤其是在生物傳感器方面，已經(jīng)成為心率、血壓等涉及到身體健康生物信號監(jiān)測的重要器件，真空鍍膜加工，在嚴苛的環(huán)境中膜層防護性要求能具有較好的穩(wěn)定性是關(guān)鍵。涂覆了派瑞林的工業(yè)級傳感器，為手術(shù)機器人功能提升與柔性電子發(fā)展提供重要的技術(shù)支撐。
除了健康領(lǐng)域，真空鍍膜材料，MEMS柔性傳感系統(tǒng)可應(yīng)用的領(lǐng)域還包括運動行業(yè)、可穿戴機械設(shè)備、人造皮膚等等。如將柔性壓力傳感器內(nèi)置在鞋子中，可以實時檢測體重、發(fā)力姿勢、身體平衡性等；可穿戴設(shè)備中的柔性傳感器可以感知人的動作和用力情況，真空鍍膜涂料，協(xié)助佩戴者提起重物、快速走動等；集成了柔性觸力傳感器的人造皮膚，可以用于義肢上，感知佩戴者的動作意圖并協(xié)助其完成想要的動作。作為納米涂層材料之一，派瑞林鍍膜技術(shù)更好的提升了MEMS產(chǎn)品的表面防護性能。
采用壓力控制器方案，控制往真空腔體內(nèi)充入的惰性氣體的壓力以營造一個控制良好的鍍膜環(huán)境。與反應(yīng)腔體直接連接的外置真空計測量持續(xù)的過程壓力，該壓力讀數(shù)通過模擬信號傳輸?shù)綁毫刂破鞑@示。
進入腔體內(nèi)的參與反應(yīng)的氣體的流量由質(zhì)量流量控制器控制。因為上述的壓力控制器可以測得腔體內(nèi)的壓力、并通過調(diào)節(jié)非反應(yīng)類氣體的含量實時調(diào)節(jié)過程壓力，從而使腔體內(nèi)形成利于沉積的鍍膜環(huán)境。
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第6年
