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流量控制器

使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽,流量計報價, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源, 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通??梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時,液體質(zhì)量流量計報價, 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。

流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時到達了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器基本原理

通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件,手持式流量計報價,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加,冷卻效應越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。

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