高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU),為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標(biāo)一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則,并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇,若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管,經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下,其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體,如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking),氮?dú)夤艿朗┕し桨?,則用于不做為供氣管路的雙套外管。
集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)
1、特點(diǎn):實(shí)驗(yàn)室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為實(shí)驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。
2、經(jīng)濟(jì)性:建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的實(shí)驗(yàn)室空間,更換鋼瓶時不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。使用者只需管理較少的鋼瓶,氮?dú)夤艿?,支付較少的鋼瓶租金,氮?dú)夤艿滥睦镉?,因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來自于同一個氣源。此種供應(yīng)方式會減少運(yùn)輸費(fèi)用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的鋼瓶管理。
3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處,這樣的話可以更合理的設(shè)計工作場所。
4、安全性:保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。
管道系統(tǒng)的布置方式
各種管網(wǎng)都是由總管、干管和支管三部分組成。 總管是指從室外管網(wǎng)到實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的管道,干管是指從總管分送到各單元的管道,氮?dú)夤艿缊髢r,支管是指從干管連接到實(shí)驗(yàn)臺的實(shí)驗(yàn)設(shè)備的管道,各種管道一般總是以水平和垂直兩種方式布置。
管道系統(tǒng)設(shè)計的考慮因素
科學(xué)合理的管道系統(tǒng)設(shè)計,可以較低的成本實(shí)現(xiàn)不錯的功能與效果。通??紤]一下因素。
1.管道系統(tǒng)的布置方式
合理布置垂直輸送、水平輸送、排放管道和管井的位置,將樓層高降到底線,盡量減少輸送和排放管道的交叉次數(shù),降低建筑投資成本。
2.管道系統(tǒng)的維護(hù)問題
必須預(yù)留維修的空間,方便維修管道系統(tǒng)的控制閥門和斷路器等關(guān)鍵部件。
3.管道系統(tǒng)未來的改變
必須預(yù)留空間和通道以允許對公用服務(wù)設(shè)施進(jìn)行改變和增加,適應(yīng)未來發(fā)展的需要。
4.管道系統(tǒng)的效率
盡量使各種管線短捷、經(jīng)濟(jì)合理,提升效率,降低運(yùn)行費(fèi)用與管道系統(tǒng)的投資費(fèi)用。
5.建筑的形象設(shè)計
管道系統(tǒng)的設(shè)計直接影響建筑物的高度和體量,可采用實(shí)驗(yàn)室模塊分散式管井,也可采用集中式大型豎井,必須結(jié)合建筑物的總體形象與實(shí)驗(yàn)樓的實(shí)際需要,曹勇美觀的管道系統(tǒng)。
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