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噪音測(cè)試通過(guò)在以下12種不同運(yùn)行狀態(tài)和方向下對(duì)一批泵進(jìn)行一系列測(cè)試，來(lái)驗(yàn)證泵噪音：垂直、水平和翻轉(zhuǎn)位置；高溫和低溫；全速和低速。在正常運(yùn)行狀態(tài)下，168次測(cè)量得到的平均噪音為41dB(A)+/-3σ。包裝測(cè)試通過(guò)對(duì)帶包裝的泵進(jìn)行測(cè)試來(lái)驗(yàn)證包裝性能，在測(cè)試時(shí)，使帶包裝的泵從96厘米/37.8英寸的高度以各種角度跌落18次。確保在運(yùn)輸過(guò)程中不會(huì)因跌落或運(yùn)輸而損壞。

無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展源源不斷地給半導(dǎo)體行業(yè)注入嶄新活力。真空技術(shù)作為一門(mén)與應(yīng)用科學(xué)緊密結(jié)合的現(xiàn)代基礎(chǔ)科學(xué)，在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。其中，分子泵作為很多半導(dǎo)體制造設(shè)備的零部件之一，廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)制造的各個(gè)工藝。

下面小編就帶您走進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，并一起探索分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈包括上游的半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)，中游的半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)以及下游的半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)包括半導(dǎo)體材料及設(shè)備，其中真空產(chǎn)品主要在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域應(yīng)用；中游半導(dǎo)體制造的是集成電路制造，包括IC設(shè)計(jì)、IC制造以及IC封測(cè)；下游的半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域眾多，廣東省愛(ài)發(fā)科真空泵有油，半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域的行業(yè)是通信及智能手機(jī)、PC/平板、工業(yè)/。

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為了確認(rèn)磁場(chǎng)對(duì)分子泵工作的影響，德國(guó)卡爾斯魯厄理工學(xué)院（）設(shè)計(jì)并執(zhí)行了下面的測(cè)試：測(cè)試條件和裝置被測(cè)分子泵的型號(hào)為T(mén)wisTorr304FSCFF6，使用一對(duì)亥姆霍茲線圈(直徑120厘米)來(lái)產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。使用20℃的冷卻水對(duì)分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會(huì)自動(dòng)調(diào)整電機(jī)電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

使用安裝于分子泵口的紅外溫度計(jì)測(cè)量被測(cè)試分子泵的轉(zhuǎn)子溫度。使用連接到分子泵外殼的PT100熱電阻測(cè)量定子的溫度。測(cè)試過(guò)程試驗(yàn)期間，渦輪泵以滿轉(zhuǎn)速持續(xù)運(yùn)行。初始的磁場(chǎng)設(shè)置為1mT，泵在該磁場(chǎng)下運(yùn)行12個(gè)小時(shí)以穩(wěn)定轉(zhuǎn)子溫度；然后關(guān)閉磁場(chǎng)，再運(yùn)行12個(gè)小時(shí)以使轉(zhuǎn)子降溫；然后再分別把磁場(chǎng)設(shè)置為2mT，愛(ài)發(fā)科真空泵有油R-80出售，按照前面的步驟繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試，直至磁場(chǎng)增加到7mT。

當(dāng)磁場(chǎng)逐步增加后，被測(cè)分子泵轉(zhuǎn)子的平衡溫度也隨之上升，當(dāng)磁場(chǎng)強(qiáng)度為7mT時(shí)，平衡溫度上升到100攝氏度左右（分子泵的很大允許溫度為120度）。

另外，使用該測(cè)試平臺(tái)測(cè)試了另一臺(tái)其它品牌的分子泵，一系列的對(duì)比測(cè)試表明，分子泵在相同的磁場(chǎng)條件下轉(zhuǎn)子的平衡溫度明顯較低（5mT時(shí)，愛(ài)發(fā)科真空泵有油R-7供應(yīng)商，低大約40度）。

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用于氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的多為抽速60L/s左右的小型泵，對(duì)氦氣的壓縮比在1000左右。分子泵的抽速與動(dòng)葉輪的轉(zhuǎn)速有關(guān)，只有動(dòng)葉輪的切向速度與氣體分子的熱運(yùn)動(dòng)速度相當(dāng)時(shí)才有抽氣能力，且抽速隨轉(zhuǎn)速而增，所以抽速在50~150L/s之間的小型分子泵的轉(zhuǎn)速通常達(dá)到90000~40000轉(zhuǎn)/分。分子泵的另一性能指標(biāo)是，壓縮比，所謂壓縮比是指分子泵的排氣口壓力與進(jìn)氣口壓力之比，壓縮比于轉(zhuǎn)速及分子量的關(guān)系是:

Kcxexp[GXu(M)17]式中:G為與葉輪幾何形狀有關(guān)的常數(shù);U為葉輪轉(zhuǎn)速;M為氣體的分子量。可見(jiàn)分子量大的氣體壓縮比大。氦質(zhì)譜檢漏儀中，逆擴(kuò)散檢漏正是利用分子泵對(duì)小分子量氦氣的低壓縮比，而且，還通過(guò)降低葉輪轉(zhuǎn)速，降低對(duì)He的壓縮比，從而提高對(duì)氦氣的響應(yīng)靈敏度。

改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的轉(zhuǎn)速，分子泵的壓縮比會(huì)發(fā)生變化，分子泵的轉(zhuǎn)速由1500Hz改變?yōu)?000Hz，分子泵的壓縮比會(huì)變小，進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分壓增加，檢漏儀檢測(cè)到氦信號(hào)會(huì)變大，試驗(yàn)中，檢漏儀在1000Hz下的信號(hào)是1500Hz信號(hào)的3.5倍，也就是說(shuō)分子泵在1500Hz的壓縮比;是1000Hz的3.5倍。

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