空氣質(zhì)量控制器多少錢-曉韜科技公司-空氣質(zhì)量控制器

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北京曉韜科技有限公司

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氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)于氣體的要求

1，空氣質(zhì)量控制器，氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物，沒(méi)有液體，這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。

2，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn)，空氣質(zhì)量控制器多少錢，不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng)，空氣質(zhì)量控制器價(jià)格，用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無(wú)效，還容易產(chǎn)生危險(xiǎn)。

質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎？

不可以的，一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調(diào)節(jié)閥，雖然可以起到一定的流量調(diào)節(jié)作用，但無(wú)法做到準(zhǔn)確，穩(wěn)定的流量控制，而氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是在電磁調(diào)節(jié)閥的基礎(chǔ)上增加了控制電路和流量檢測(cè)傳感器和比例分流，是可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量控制，并且可以將流量信號(hào)穩(wěn)定持續(xù)輸出成電壓信號(hào)或電流信號(hào)，比例閥根本滿足不了MFC能起到的作用。

氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測(cè)量和控制。其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括微電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

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